Gesloten
Openbaar
Litho Mask Aligner system
Publicatie-ID: 430520
Details
Publicatiedatum
25 juni 2026
Deadline
24 april 2026
Geschatte waarde
€ 700.000,00
CPV-codes
42000000-6
Omschrijving
Het doel van deze aanbesteding is dat TNO voornemens is een overeenkomst te sluiten met één (1) opdrachtnemer voor de levering van één (1) Litho Mask Aligner, geschikt voor het volledig automatisch alignen en exposeren van i-line‑photoresistlagen op 6”-InP‑wafers.